太赫兹纳米近场超分辨成像系统

将自研国产高功率真空电子辐射源与原子力显微镜结合，建成国际上首套基于真空电子器件的太赫兹近场显微系统，实现 20nm 分辨率的太赫兹成像与纳米尺度波谱，关键性能优于国外同类产品，打破国际垄断；已实现产业化，产业化主体为成都觅几科技有限公司。